臺(tái)式光刻機(jī)

簡要描述：臺(tái)式光刻機(jī)參數(shù)：1.最大曝光面積:160mm*160mm。⒉.曝光分辨率:1um(膠厚≤0.5um的正膠)。3.對準(zhǔn)精度:±1um(標(biāo)準(zhǔn)晶圓拋光片)。4.光源強(qiáng)度:35mW/cm2。5.曝光波長:LED光源(進(jìn)口燈珠，壽命>1萬小時(shí))

所在城市：無錫市
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新日期：2024-11-07
訪問量：175

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　　臺(tái)式光刻機(jī)參數(shù)：

　　1.最大曝光面積:160mm*160mm

　　⒉.曝光分辨率:1u m(膠厚≤0.5um的正膠)

　　3.對準(zhǔn)精度:± 1um(標(biāo)準(zhǔn)晶圓拋光片)

　　4.光源強(qiáng)度:35mW/cm2

　　5.曝光波長:LED光源(進(jìn)口燈珠，壽命>1萬小時(shí))

　　6.曝光方式:定時(shí)(倒計(jì)時(shí)方式)

　　7.掩模樣片相對運(yùn)動(dòng)范圍:X:優(yōu)于±5mm;

　　8.Y:優(yōu)于±5mm;0:優(yōu)于±6°

　　9.掩模尺寸:7英寸，樣片規(guī)格:6英寸(晶圓片)

　　10.數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙

　　11.掩模樣片分離間隙:6 =O-500um連續(xù)可調(diào)

　　12.對準(zhǔn)方式:自動(dòng)對準(zhǔn)，可根據(jù)客戶需求，增加對準(zhǔn)標(biāo)記的類型，累計(jì)不超過4組

　　13.自動(dòng)輸片:機(jī)械手自動(dòng)輸片(專用樣片機(jī)械手臂及片叉)，含預(yù)對準(zhǔn)定位功能

　　14.顯微掃描范圍:Y:± 40mm(數(shù)字設(shè)定)

　　15.具備正壓氣浮曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能CCD+遠(yuǎn)心鏡頭+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像

　　16.調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)

　　17.雙物鏡可調(diào)距離范圍:30mm-130mm

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