勻膠機旋涂儀操作簡單，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，為實驗室提供了理想的解決方案?？捎糜趯嶒炇翼椖拷ㄔO(shè)，除半導(dǎo)體外，還可用于硅片、芯片、基板、導(dǎo)電玻璃和制版等表面涂層工藝，用于科研和教學(xué)。
 

　　勻膠機旋涂儀使用時的注意事項：
 

　　1、使用前，主要檢查設(shè)備與真空泵、氮氣瓶接口是否泄漏；
 

　　2、實驗過程中，依次打開設(shè)備電源開關(guān)、氮氣/干氣瓶閥門和真空開關(guān)。實驗結(jié)束時，先關(guān)閉真空，然后關(guān)閉氮氣/干氣瓶的閥門；
 

　　3、氮氣/干氣的壓力控制不宜過大。建議從0.35Mpa開始緩慢增加氮氣瓶壓力，直到設(shè)備控制面板上的CDA停止閃爍；
 

　　4、嚴(yán)禁將過多、過重的物料放置在設(shè)備的限制范圍之外，否則會損壞設(shè)備的旋轉(zhuǎn)控制精度；
 

　　5、如果使用大的吸附盤投擲小的樣品片，會發(fā)生空氣泄漏，膠水會被吸入空氣提取室，導(dǎo)致空氣路徑堵塞；
 

　　6、如不慎將膠水吸入抽氣室，應(yīng)立即清洗，否則吸附盤、光電盤和電機軸會粘在一起，導(dǎo)致電機旋轉(zhuǎn)，難以拆卸；
 

　　7、當(dāng)氣路堵塞或氣泵損壞時，電機也可以運行，產(chǎn)生飛片。因此，在啟動電機之前，必須確認(rèn)氣泵處于良好狀態(tài)，且吸入件已被吸入；
 

　　8、在實驗過程中，當(dāng)設(shè)備處于閑置狀態(tài)時，為了保護泵的工作性能，請關(guān)閉真空泵。建議泵的連續(xù)運行時間不應(yīng)超過1小時；
 

　　9、實驗結(jié)束后，請將設(shè)備內(nèi)腔內(nèi)的殘留物擦拭干凈，清空廢液接收罐，用原件覆蓋，并用塑料信封覆蓋每個裝置，避免污染。